2022年10月26日下午，应物理与电子工程学院、甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室邀请，大连理工大学王友年教授为我院师生作了题为“射频等离子体物理及在芯片制造工艺中的应用”的线上学术报告。报告会由院长张登红教授主持，相关学科教师、研究生和本科生共120余人参加了本次报告会。此次报告会也是我校百廿校庆系列学术活动之一。

王友年教授在报告中首先介绍了射频等离子体的概念、分类以及参数特征，对工业上常用的几种典型射频等离子体源如容性耦合等离子体（CCP）、感性耦合等离子体（ICP）及微波ECR等离子体等做了介绍。接着介绍了他们团队在揭示射频等离子体重要物理现象方面取得的成果，包括发现了电子反弹共振加热、截止带效应及非线性高次谐波现象，首次发现了“辉光条纹”现象（CF4气体放电），实验证实了驻波效应等。进一步介绍了射频等离子体在芯片制造工艺中的应用，指出了目前该领域的发展态势，所面临的机遇和挑战。王友年教授最后介绍了大连理工大学射频等离子体物理研究团队，并欢迎有兴趣的同学加入深造。

报告会后王友年教授同我院相关教师、研究生、本科生进行了深入交流。

【王友年教授简介】

王友年，大连理工大学教授、博士生导师，长江学者特聘教授。曾任国务院学位委员会第五、六届学科评议组成员，中国力学学会等离子体科学与专业委员会主任（第五和第六届）国家自然科学基金数理学部学科评审组成员。主要从事射频等离子体物理及载能束与物质相互作用过程等方面的研究，先后主持了国家973计划、重大科技专项、国家磁约束聚变能计划专项及国家自然科学基金重点项目等研究课题，在Physical Review Letters、Applied Physics Letters 等刊物上发表SCI论文400多篇;作为第一完成人分别于2008年和2011获辽宁省和教育部自然科学二等奖；研发了具有自主知识产权的等离子体多物理场耦合仿真软件—MAPS，获得大连市科技进步一等奖，并分别在有关半导体和光伏设备制造公司得到应用；先后培养博士研究生40多名和硕士研究生30多名；编著《电动力学》和《数学物理方法》教材和译著《射频等离子体物理学》。曾获全国五一劳动奖章，并先后被评为辽宁省劳动模范和大连市劳动模范。